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常見(jiàn)故障現(xiàn)象及處理方法系列一:質(zhì)譜無(wú)法正常開(kāi)機(jī)

更新時(shí)間:2023-03-24      點(diǎn)擊次數(shù):5896

常見(jiàn)故障現(xiàn)象及處理方法系列一:質(zhì)譜無(wú)法正常開(kāi)機(jī)

質(zhì)譜長(zhǎng)期未使用、異常關(guān)機(jī)后可能會(huì)出現(xiàn)無(wú)法正常開(kāi)機(jī)情況,下面我們介紹一些質(zhì)譜無(wú)法正常開(kāi)機(jī)后的處理方法。

一、質(zhì)譜開(kāi)機(jī)步驟及易故障現(xiàn)象

1、檢查氣體壓力是否正常(參考下圖)。

img1 

若壓力異常,調(diào)節(jié)相應(yīng)閥門(mén)使之達(dá)到正常壓力。

若出現(xiàn)無(wú)壓力或調(diào)節(jié)閥門(mén)無(wú)效情況,請(qǐng)及時(shí)聯(lián)系工程師檢修氮?dú)獍l(fā)生器或檢修氣路。

2、檢查機(jī)械泵油量,如需要,請(qǐng)及時(shí)更換泵油(請(qǐng)參考:機(jī)械泵維護(hù)指南。(超鏈接)

),打開(kāi)機(jī)械泵。

若機(jī)械泵無(wú)法開(kāi)機(jī)或出現(xiàn)異響,請(qǐng)及時(shí)聯(lián)系工程師檢修。

3、約30min后打開(kāi)質(zhì)譜主機(jī)電源,質(zhì)譜指示燈點(diǎn)亮,并在常亮之后開(kāi)始閃爍。

若指示燈無(wú)法點(diǎn)亮,檢查電源線(xiàn)是否松動(dòng)。若無(wú)松動(dòng),請(qǐng)及時(shí)聯(lián)系工程師檢修質(zhì)譜。

4、進(jìn)入Analyst軟件,激活質(zhì)譜并打開(kāi)質(zhì)譜狀態(tài)圖標(biāo),查看儀器狀態(tài)。

4.1以API 4000為例。

img2 

(1)、觀察Backing Pump Status,Enabled表示機(jī)械泵正常運(yùn)轉(zhuǎn)。

若出現(xiàn)Disabled,請(qǐng)及時(shí)聯(lián)系工程師檢修機(jī)械泵。

(2)、觀察Analyzer Turbo Pump,由初始Accelerating約幾分鐘后變?yōu)?Normal。

若一直處于Accelerating或者OFF,請(qǐng)及時(shí)聯(lián)系工程師檢修質(zhì)譜。

(3)、觀察Interface Turbo Pump,由初始Accelerating約幾分鐘后變?yōu)?Normal。

若一直處于Accelerating或者OFF,請(qǐng)及時(shí)聯(lián)系工程師檢修質(zhì)譜。

(4)、觀察Vacuum Gauge,由初始OFF,在Analyzer Turbo Pump、Interface Turbo Pump均達(dá)到Normal后約兩分鐘后顯示真空度數(shù)。

若一直處于OFF,請(qǐng)及時(shí)聯(lián)系工程師檢修質(zhì)譜。

注:質(zhì)譜狀態(tài)及其含義,請(qǐng)參考邁斯培訓(xùn)系列五:質(zhì)譜報(bào)錯(cuò)怎么辦?軟件死機(jī)了怎么辦?(超鏈接)

 

(5)抽真空過(guò)夜,觀察Vacuum Gauge,達(dá)到要求真空度,質(zhì)譜圖標(biāo)變?yōu)辄S色,開(kāi)機(jī)正常。

若無(wú)法達(dá)到要求真空度或質(zhì)譜圖標(biāo)變紅,請(qǐng)及時(shí)聯(lián)系工程師檢修質(zhì)譜。

4.2 以Triple Quad 5500為例。

img3 

(1)、觀察Backing Pump Status,Enabled表示機(jī)械泵正常運(yùn)轉(zhuǎn)。

若出現(xiàn)Disabled,請(qǐng)及時(shí)聯(lián)系工程師檢修機(jī)械泵。

(2)、觀察Turbo Pump,由初始Accelerating約幾分鐘后變?yōu)?Normal。

若一直處于Accelerating或者OFF,請(qǐng)及時(shí)聯(lián)系工程師檢修質(zhì)譜。

(3)、觀察Vacuum Gauge,由初始OFF狀,在Analyzer Turbo Pump、Interface Turbo Pump均達(dá)到Normal后約兩分鐘后顯示真空度數(shù)。

若一直處于OFF,請(qǐng)及時(shí)聯(lián)系工程師檢修質(zhì)譜。

(4)抽真空過(guò)夜,觀察Vacuum Gauge,達(dá)到要求真空度,質(zhì)譜圖標(biāo)變?yōu)辄S色,開(kāi)機(jī)正常。

若無(wú)法達(dá)到要求真空度或質(zhì)譜圖標(biāo)變紅,請(qǐng)及時(shí)聯(lián)系工程師檢修質(zhì)譜。

注:待機(jī)狀態(tài)(CAD=0)真空范圍參考

質(zhì)譜型號(hào)

2000

系列

3000

系列

3200

系列

4000

系列

4500

系列

5000

系列

5500

系列

真空范圍(10e-5 torr)

<2.0

 1.1

0.4~1.3

≤1.3

0.4~1.1

0.3~0.8

0.4~1.1

 

二、質(zhì)譜異常關(guān)機(jī)故障排查

質(zhì)譜在運(yùn)行過(guò)程中突然關(guān)機(jī)。

1、檢查氣體壓力是否正常。若壓力異常,調(diào)節(jié)相應(yīng)閥門(mén)使之達(dá)到正常壓力。

若出現(xiàn)無(wú)壓力或調(diào)節(jié)閥門(mén)無(wú)效情況,請(qǐng)及時(shí)聯(lián)系工程師檢修氮?dú)獍l(fā)生器或檢修氣路。

2、檢查機(jī)械泵是否正常運(yùn)轉(zhuǎn)。

若機(jī)械泵無(wú)法運(yùn)轉(zhuǎn),請(qǐng)及時(shí)聯(lián)系工程師檢修機(jī)械泵。

3、觸摸分子泵外殼溫度是否正常。

若分子泵溫度異常高,請(qǐng)及時(shí)聯(lián)系工程師檢修質(zhì)譜。

4、嘗試開(kāi)機(jī),觀察分子泵運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)聲音是否正常。

若分子泵運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)有異常噪音,請(qǐng)及時(shí)聯(lián)系工程師檢修質(zhì)譜。

5、若無(wú)法正常開(kāi)機(jī),請(qǐng)查看event log并聯(lián)系工程師檢修質(zhì)譜。

請(qǐng)參考邁斯翔禾培訓(xùn)系列二:如何查看和保存 Event Log(超鏈接)

 

 

 

 

 

 

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